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表面界面物性解析装置 |
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サブミクロンオーダーの薄膜や多層膜など、薄膜の剥離・密着性や膜強度の評価は重要性を増しています。
しかし、これらの物性値の評価は、材料の強度・構造の影響により解析が難しく、評価方法があまりありません。
この表面界面物性解析装置では、切削法により、薄膜の密着性・せん断強度を測定することができます。 |
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剥離強度・せん断強度が簡単な操作で測定できる装置です
また、多層膜での各層の分析（IRなど）前処理にも応用できます（→こちらをクリック） |
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| ■薄膜･コーティング材の物性評価でお困りの方に！ |
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剥離強度 |
コーティング材の接着性の度合いを数値化できないか |
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せん断強度 |
コーティング材の強度を数値化できないか |
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膜厚 |
コーティング材の厚さは実際どれくらいか |
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強度の深さ方向解析 |
この材料はどれくらいの深さまで変質しているか |
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多層膜 多層膜の各層の剥離強度・せん断強度・厚さを知りたい |
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その他 擦傷性、摩擦係数、硬度を切刃の交換により測定可能 |
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| ■原理 |
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 鋭利な切刃を用いて、素材の表面から内部にかけて切込み、その際の切刃に生ずる抵抗力を読み取ります。
切刃の切込み段階で「せん断強度」、界面に沿って移動させることで「剥離強度」の測定を行うことができます。 |
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★写真：木材の多層膜カット |
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| ■測定例 |
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●半導体用薄膜・レジスト・層間絶縁膜（Low-k膜）
●カラーフィルタ
●機能性フィルム
●二次電池
●接着剤
●金属蒸着膜
●各種塗装・多層膜塗装
（自動車用塗装、建材用塗装、製缶用塗装、
サッシ用塗装、 非鉄金属用塗装、プリント基板用塗装） |
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★写真：レジスト膜（厚さ約0.5μｍ）の切削断面
斜めに切削した部分に膜圧の違いによる干渉縞が観察されます |
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表面界面物性解析装置サイカスＣＮ型 |
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