超微小硬度測定の短時間化と高再現性を実現

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  • 超微小硬さ試験システム　ピコデンター

「荷重精度　100nN以下」「変位精度　40pm以下」

荷重精度100nN（ナノニュートン）以下、変位精度40pm（ピコメートル）以下と、測定精度が格段にアップしました、フィッシャー超微小硬さ試験システムです。
Low-k膜やDLCなどの薄膜材料の力学特性評価として注目されるナノインデンテーションに最適です。
これまでの測定で問題となっていました、「使い勝手」と「再現性」に大変優れているのがポイントです。ナノインデンテーションの測定が、短時間で簡単に行え、効率がぐんとアップします。

製品情報

特長

短時間測定

　 短時間で測定が可能です。プログラミングで連続自動多点測定も行えます。

操作がカンタン

　 表面検出は高精度でかつ自動化されており、オペレーターによる個人差が生じません。また試験も自動化されており、熟練した技術が無くても大丈夫です。

高いデータ再現性

　 ノイズなどの影響の少ない、高い再現性のデータが得られます。

下地の影響がありません

　 押込み深さ精度40pm以下で、ナノオーダーの極薄膜の測定でも、下地の影響の心配がありません。

 

 

アプリケーション

●Low-k薄膜
●超薄DLCフィルム
●高分子薄膜
●ガラス保護膜
●磁気ヘッド用薄膜、CD
●写真フィルム、磁気記録メディア
●塗膜、ポリマー
●耐食耐磨耗コーティング
●熱･紫外線による表面硬化処理の評価
●イオンプレート
●セラミックス
●医療用装置
●生体材料
●切断工具

 


ガラスのDLC皮膜

ニッケル単結晶

 

仕様

荷重範囲  0.001～500mN（50gf）
圧子の最大押し込み深さ 150μm
測定不確実性 距離測定：≦40pm
試験荷重：≦100nN
硬さ測定範囲 0.001～120,000N/mm 2

 

超微小硬さ試験システム ピコデンター