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【AC-2S Series】
仕事関数・イオン化ポテンシャルの測定が可能

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  • 大気中光電子収量分光装置 AC-2S Series 理研計器(株)

従来機の取り扱いやすさをそのままに、ダウンサイジング!
ベーシックタイプ、Pro仕様タイプの3機種ご用意がございます。

ACシリーズとは

大気中で簡単に仕事関数・イオン化ポテンシャルの測定が可能(測定時間:約5分*)

真空状態にする必要がないため、サンプルの入れ替えも簡単にでき、短時間で測定できます。
※測定条件:測定エネルギー走査範囲4.2eV~6.2eV、ステップ0.1eV、計数時間5s/ステップの場合。

 

再現性の高い測定が可能

強度の弱い紫外線を照射し、微量の光量子放出を検出する原理のため、
材料へのダメージが少なく再現性の高い測定が可能です。

 

ACシリーズの測定原理

赤外線ランプから放射された紫外線は分光器により波長(エネルギー)が選択され、
サンプル台に置かれた試料表面に集光されます。
光電効果(物質が光を吸収し表面から電子を放出する現象)により放出された電子を
オープンカウンター(電子数測定器)により測定します。

 

紫外線の波長λは、次式により光のエネルギーEに換算されます。

E=hν=h・c/λ
(h:プランク定数、ν:光の振動数、c:光速、λ:波長)

紫外線エネルギーを大きくしていくと、下の測定アプリケーション画面のように
光電子が放出されるしきい値エネルギー(仕事関数*1・イオン化ポテンシャル*2)が求まります。

 

*1 金属において、光電子放出のしきい値エネルギー
*2 半導体において、光電子放出のしきい値エネルギー

 

 

AC-2Sシリーズの特長

AC-2Sシリーズ 3タイプ

AC-2S

 従来機の汎用機能はそのままに、小型・軽量化したベーシックなモデル。
 多点測定、繰り返し測定機能を新たに搭載し、使いやすさを向上。

AC-2S Pro α

 低仕事関数材料やバンドキャップ内局在準位の高感度・高精細測定ができるモデル。
 高温測定・膜厚測定も可能です。

AC-2S Pro β

 微細パターンニング加工部位などの微小スポットの仕事関数測定ができるモデル。
 高温測定・膜厚測定も可能です。

特長

・より使いやすく進化

 測定ソフト・解析ソフトを一新し、操作性を向上しました(AC-2、AC-3、AC-5のデータ読み込み、解析もできます)。

・多点測定機能で作業効率アップ

 最大4点の多点測定が可能。作業効率のアップに貢献します。

・繰り返し測定機能を搭載

 繰り返し測定機能を新たに追加し、作業者の負担を軽減できます。

・小型、軽量化を実現

 従来機から大幅にサイズダウンしました(横幅:21%削減、重量:38%削減)。

※従来機とAC-2Sとの比較(Proモデルは異なる)。

 

 

 

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お問い合わせ

株式会社三ツワフロンテック 本社
〒530-0041 大阪市北区天神橋3-6-24
TEL:06-6351-9631 FAX:06-6351-9632