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簡単にナノ粒子を形成!パルス放電を利用したナノ粒子製造装置です

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  • ナノ粒子形成装置
  • APD

– パルス放電によるナノ粒子製造の特長 –

・ 真空ドライ雰囲気で形成する為、高活性な粒子を得られます。
・ 湿式・析出法と比べ、少ないプロセスでナノ粒子が作成できます。
・ プロセス次第では、レアメタル削減に貢献できます。
・ パルス放電の条件変更により、粒子径、担持率を容易にコントロールが可能。
・ 蒸着源2つ以上で同時蒸着させることで、2元系、3元系の合金ナノ粒子を作成できます。
また、雰囲気を加えることで、酸化物、窒化物の粒子形成も可能です。

特徴

粒子形成例

Au/グラッシカーボンの薄膜成長過程

国立研究開発法人 産業技術総合研究所 関西センタ- 茶谷原 昭義様ご提供

カーボンパウダ(ケッチェンブラック)上の白金ナノ粒子のTEM像

粒径サイズ:約2.5nm

成膜例

鉄とカーボンの多層膜

ナノメータの薄膜をパルス(デジタルに)で制御して形成できる。
TEM写真から  1)鉄の各層の膜厚は均等  2)膜圧は非常に平坦  3)鉄とカーボンの界面がクリア

原理

導電性材料のターゲットをセットし、パルスのアーク放電を発生させると、アノード先端より、材料がプラズマとなり噴出されます。それが、粒子や基材に当たり、担持や成膜が可能になります。また、消費電力が少ないことで、基板の温度上昇がほとんど無く、樹脂やフィルムにも蒸着することが可能です。

ターゲット使用実績表

アプリケーション

■ 応用例

・ グリーン・エネルギーデバイス材料(粉体:高機能化反応触媒)へナノ粒子(貴金属)を担持
⇒高活性な、シングルナノ粒子を均一に担持する事により、貴金属使用量を削減・コストダウン
・ DLC膜代替:微結晶のダイヤモンドを直接成膜することで、より硬い膜の作成が可能。
・ イオン液体中の分散されたナノ粒子

受託サンプリングも承ります!お気軽にお問い合わせ下さい。