動的光散乱法｜粒子計測・測定（粒度分布）を分かりやすく解説！粒子径とは｜製品情報　テーマで探す

モデル名		VSS-450-300	RVS-210	RSS-210-S
外観
特徴		・真空、N2、H2、ギ酸対応・フラックス入り/無しのはんだに対応・搬送ロボット/ローダーとの組合せ『可』・300mm角対応	・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応・フラックス入り/無しのはんだに対応・200mm角対応	・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応・毎分240k/minの高速昇温・200mm角対応
加熱プレートサイズ	WxD(mm)	320×320	210×210	210×210
有効対象物サイズ	WxDxH(mm)	300×300×50	200×200×50	200×200×50
最大到達温度		450℃	400℃	400℃
加熱方式		クロス配列IRヒーター（下部加熱）	IRヒーター（下部加熱）	IRヒーター（下部加熱）
温度制御方式		P.I.D.制御方式
プレート上面内温度差		設定温度に対して±1%以内		設定温度に対して±1%以内
プレート上面内温度差		（対象物：Φ300mmウエハ時）	（対象物：Φ200mmウエハ時）	（対象物：Φ200mmウエハ時）
最大昇温速度 ※対象物の熱容量に因る		150K/min.	120K/min	240K/min
最大降温速度 ※対象物の熱容量に因る		90K/min（T=450℃>200℃） 60K/min（T=200℃>100℃）	120K/min（T=400℃>200℃） —	120K/min（T=400℃>200℃） —
チャンバー真空耐久度		0.1 Pa（10^-3hPa）
プロセスガス供給ライン		マスフローコントローラ×1（最大流量：5nlm）
コントローラ		タッチパネルコントローラSIMATIC®TP-700
プロファイルプログラム登録数		最大：50プログラム
プログラムステップ数		最大：50ステップ
チャンバー冷却方式		ウォータージャケット方式
加熱プレート冷却方式		水冷/空冷（共用可）
装置サイズ	WxDxH(mm)	550x690x830	670x544x320	430x295x290
装置重量	(kg)	約105kg	約45kg	約22kg
電源仕様		三相200V・40A	三相200V・25A	三相200V・16A
ギ酸・水素還元両対応卓上型真空はんだリフロー装置　装置オプション
上部IRヒーターモジュール	標準	○ （電源仕様：三相200V、80A）	—
上部IRヒーターモジュール	セパレート用石英ガラス板	○	—
チャンバー高さ		○（120mm）	チャンバー高さ80mm	チャンバー高さ80mm
最大到達温度		650℃		最大到達温度500℃
蓋付きグラファイト製円筒アダプタ		—	—
グラファイト製プレート	標準	—	—
	PyC浸潤	—	—
	SiCコーティング	—	—
ダブルチャンバー		—	—
石英ガラス製チャンバー	標準	—	—
石英ガラス製チャンバー	高真空対応	—	—
内蔵ギ酸還元モジュール	内蔵（標準の窒素ガスMFC共用）	○
	内蔵（標準の窒素ガスMFC別系統）	○
	外付け（標準の窒素ガスMFC別系統）	○
ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター		○
フラックストラップフィルター		—	—
高濃度水素ガス供給システム（安全対策オプション含む）		○
チャンバー蓋インターロック		（標準装備）	○
追加プロセスガス供給用マスフローコントローラ		○ （合計4系統）
追加熱電対（対象物温度測定・記録用）		○ （合計1本）	○ （合計3本）
湿度測定センサ（チャンバー内湿度測定・記録用）		○		—
酸素濃度測定センサ（チャンバー内残留酸素濃度測定・記録用）		○
3色パトライト（赤・黄・緑）		○
高真空対応チャンバー10-4Pa（10-6hPa）及びターボ分子ポンプ		○
対象物持ち上げ用リフトピン		○
外部機器通信用シリアル通信機能		○
チャンバー蓋開閉用リモート制御機能		○
真空ポンプ（真空到達圧）	低真空	○ （メンブレン式(200Pa)、耐腐食メンブレン式(200Pa)、ロータリー式(0.1Pa)、耐腐食ロータリー式(0.1Pa)、スクロール式(0.3Pa)、ドライ式(5Pa)から選択）
真空ポンプ（真空到達圧）	高真空	○ ターボ分子ポンプ（10-4Pa）
冷却機付きチラー	1.3kW	○ （5.3kW or 8.7kW）	○ （1.3kW or 2.7kW）	○ （1.3kW or 2.7kW）
ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー		○ （504x714x412mm、約50kg）

RSO-200	RSS-3X210-S	RSS-160-S	RSS-110-S

・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応
155×155×40	620×200×50	155×155×40	105×105×40
650℃	300℃	400℃
	クロス配列IRヒーター（下部加熱）	カートリッジヒーター（下部加熱）

製品名		ELSZneo	ELSZ-2000ZS	DLS-8000 6500型(DLS専用)	nanoSAQLA

特長		・ELSZシリーズの最上位機種　・希薄系から濃厚系溶液まで対応　・光散乱技術を駆使して微粒子のキャラクタリ　　ゼーションを提供	・希薄系から濃厚系溶液まで広範囲に対応　・光散乱技術で粒子径・ゼータ電位・分子量測定が　　可能	・光散乱技術で粒子径・分子量測定が可能　・固体レーザー仕様でナノ粒子を高精度に測定	・研究開発から品質管理まで使用できる仕様と機能　・標準仕様で最大5検体の連続測定が可能　・最大50検体連続測定が可能なオートサンプラを　　準備（オプション）
測定原理		動的光散乱電気泳動光散乱静的光散乱	動的光散乱電気泳動光散乱静的光散乱	動的光散乱静的光散乱	動的光散乱
測定範囲		0.6nm～10μm	0.6 nm ～ 10μm	1.4 nm ～ 7000nm（固体レーザー） 3 nm ～ 7000nm（ He-Ne）	0.6nm ～ 10μm
濃度範囲		0.00001(0.1ppm)～40％（PS Latex粒子：0.00001 ～ 10％、タウロコール酸：～40%）	0.00001(0.1ppm)～40％（PS Latex粒子：0.00001 ～ 10％、タウロコール酸：～40%）		0.00001(0.1ppm)～40％（PS Latex粒子：0.00001 ～ 10％、タウロコール酸：～40%）
温度調節		〇 0～90℃ （温度グラジエント機能あり） ※ガラスセルを使用時 ※ディスポセルの使用温度は10 ～ 50℃	〇 0～90℃ （温度グラジエント機能あり） ※ガラスセルを使用時 ※ディスポセルの使用温度は10 ～ 50℃	〇標準仕様： 5～90℃ 高温仕様：5-160℃	〇 0 ～ 90℃ （温度グラジエント機能あり） ※5連セルホルダーやディスポセルを使用する場合は 15 ～ 40℃
測定セル		粒子径ガラスセル（四面透過）：1.0mL～多角度セル：1.5mL～粒子径ディスポセル：1.0ｍL～粒子径微量ガラスセル：20μL～粒子径超微量ガラスセル：3μL～粒子径微量ディスポセル：50μL～	角セル : 0.9mL ～微量セル：20μL ～（オプション）	5φ微量セル： 50μL～（オプション） 12φ円筒セル：0.7mL～ 21φ円筒セル： 3mL～	角セル：1.2mL～、微量セル：20μL～
測定項目	粒子径	〇	〇	〇	〇
	ゼータ電位	〇	〇
	分子量	〇	〇	〇
サイズ		330(W)×565(D)×245(H)mm	380(W)×600(D)×210(H)mm	560(W)×700(D)×570(H) mm	240(W) ×480(D)×375(H)mm
重量		22kg	22kg	約55kg	約18 kg
カタログのお申込み		カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名	Zetasizer アドバンスシリーズ

特徴	より早く、より少量で、より正確なナノ粒子測定を実現用途に合わせて6タイプをご用意（検出角度・レーザ出力）
測定原理	非接触後方散乱(NIBS)、動的光散乱法(90°、13°) 多角度動的光散乱法(MADLS)
測定時間	約2分（試料・測定内容に依存する）
測定範囲	Ultra: 0.3 nm～15 μm Pro　： 0.3 nm ～ 10 μm Lab　：0.3 nm ～ 15 μm
測定角度	Ultra：多角度（173°、13°、90°） Pro　：後方散乱（173°、13°） Lab　： 90°散乱（90°、13°）
濃度範囲	最大40% w/v（試料による）
温度調節	0°C ～ 120°C ※ 露点未満の温度では乾燥窒素セルパージが必要
測定セル	Ultra：最小3 μL Pro：最小 12 μL Lab：最小3μL
多検体	－
ゼータ電位	〇
pHタイトレーション	〇
分子量	〇
サイズ	322 mm x 565 mm x 245 mm
重量	19 kg
カタログのお申込み	カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名	nanoPartica SZ-100V2

特徴	業界初の高出力グリーンレーザや世界最速のコリレータを搭載し高精度測定を実現！多様化するサンプルに対応するゲル解析システムも搭載。 HORIBA独自開発のキュービックセルで一歩先のゼータ電位測定！
測定原理
測定時間
測定範囲	0.3 nm ～ 10 μm （直径）
測定角度	90° および173°
濃度範囲
濃度調調節	0～90℃ （プラスチック製セルおよび電極付きセルは70℃まで）
測定セル	ディスポセル：最小1.2mL セミマイクロセル：最小500μL ガラスセル：最小1.2mL セミマイクロディスポセル：最小600μL 栓付セル：1.2mL マイクロセル（側方のみ）：12μL サブマイクロセル：200μL フローセル：100μL
ゼータ電位	〇 ※Z2、HZ2型のみ
pHタイトレーション	〇
分子量	〇
サイズ
重量
カタログのお申込み	カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名	VASCO KIN	VASCO

特徴	・In-situ、非接触・モニタリングに最適	・希薄から濃厚まで対応
測定原理	動的光散乱法	動的光散乱法
測定時間	30秒～数分	30秒～数分
測定範囲	0.5～10,000nm	0.5~10,000nm
測定角度	135°	170°
濃度範囲	～40vol%　※試料による	～40vol%　※試料による
濃度調調節		10～70 ℃
測定セル	ガラス等の透明容器	10µl～ (最低試料量はサンプルの性状に依存)
サイズ	50 x 25 x 120 mm (HWD)ヘッド 220 x 220 x 64 mm (upper part) 220 x 220 x 48 mm (lower part)	30 cm x 33 cm x 28 cm (HWD)
重量	ヘッド 0.5kg 2.5 kg (upper part) 2.8 kg (lower part)	12 kg
カタログのお申込み	カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名			NANOTRAC WAVE IIシリーズ				NANOTRAC FLEX

共通特長			周波数解析法とヘテロダイン法を利用することで、あらゆる粒子径分布(単峰性、多峰性、シャープ、ブロード)を光子相関法（PCS）のようなわずらわしい分布関数の解析不要で適切な分布形状が得られます。 DLSでありながら高分解能の測定が可能です。
モデル			WAVE II-EX150	WAVE II-EX151	WAVE II-UZ152	WAVE II-Q	FLEX
プローブタイプ			マルチモード	シングルモード	シングルモード	シングルモード	シングルモード
			内部プローブ式	内部プローブ式	内部プローブ式	内部プローブ式	外部プローブ式
サンプルセル			粒子径専用 PTFE／SUS	粒子径専用 PTFE／SUS	粒子径 PTFE／SUS ゼータ電位 PTFE	粒子径専用キュベットセル	－
測定項目	粒子径		●	●	●	●	●
	ゼータ電位		✖	✖	●	✖	✖
	分子量		✖	〇	〇	〇	✖
オプション	温調		〇	〇	〇	〇	✖
個別製品特長			顔料インク測定のディファクトスタンダードとなっております。	シングルナノ粒子等の微弱な散乱光の検出に最適。低濃度から高濃度まで幅広い濃度領域に対応しています。	粒子径とゼータ電位の測定が簡便。印加電場の迅速なスイッチングにより電気浸透流を防ぎます。	ガラスやプラスチック製の様々な容量のキュベットセルが使用可能です。	あらゆる容器を測定容器として使用することができ、キュベットなどは必要ありません。プローブをライン中で使用し、反応中に成長する粒子をモニタリングすることができます。
仕様	測定原理		動的光散乱法（周波数解析法）／電気泳動法（UZ：ゼータ電位測定の場合）
	測定範囲	粒子径分布	0.8～6500ｎｍ
		ゼータ電位	✖	✖	－200～＋200ｍV	✖	✖
		分子量	✖	300Da～20MDa			✖
	測定時間		30～1800秒（粒子径による）
	有機溶媒対応		●
	レーザ		半導体レーザ　　クラス１製品
	試料量		EX／UT　最小200μl～2ml　　UZ　500μl～２ｍｌ				5μl～
	温調機能		＋５～＋９０℃				✖
	外形寸法・重量		386（W）＊330（H）＊368（D）mm 6.8kg				180（W）＊300（H）＊260（D）mm 6kg
カタログのお申込み			カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

●：標準機能　〇：オプション機能　✖：非搭載

製品名	Litesizer

特徴	3つの測定角度透過率、屈折率（500型）の測定機能
測定原理	動的光散乱法 (DLS)
測定時間
測定範囲	0.3 nm～10 µm* (直径)
測定角度	500型：15°、90°、175° 100型：175°
濃度範囲	50 %w/v (サンプルに依存)
温度調整	0～90 °C
測定セル	12 µL～
ゼータ電位	〇 ※500型
pHタイトレーション	〇（オプション）
分子量	〇 ※500型
サイズ	460mm × 485mm × 145mm
重量	約20kg
カタログのお申込み	お問い合わせはこちら ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

動的光散乱法
（Dynamic light scattering）
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粒子径・ゼータ電位測定の新標準

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