レーザー回折式｜粒子計測・測定（粒度分布）を分かりやすく解説！粒子径とは｜製品情報　テーマで探す

モデル名		VSS-450-300	RVS-210	RSS-210-S
外観
特徴		・真空、N2、H2、ギ酸対応・フラックス入り/無しのはんだに対応・搬送ロボット/ローダーとの組合せ『可』・300mm角対応	・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応・フラックス入り/無しのはんだに対応・200mm角対応	・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応・毎分240k/minの高速昇温・200mm角対応
加熱プレートサイズ	WxD(mm)	320×320	210×210	210×210
有効対象物サイズ	WxDxH(mm)	300×300×50	200×200×50	200×200×50
最大到達温度		450℃	400℃	400℃
加熱方式		クロス配列IRヒーター（下部加熱）	IRヒーター（下部加熱）	IRヒーター（下部加熱）
温度制御方式		P.I.D.制御方式
プレート上面内温度差		設定温度に対して±1%以内		設定温度に対して±1%以内
プレート上面内温度差		（対象物：Φ300mmウエハ時）	（対象物：Φ200mmウエハ時）	（対象物：Φ200mmウエハ時）
最大昇温速度 ※対象物の熱容量に因る		150K/min.	120K/min	240K/min
最大降温速度 ※対象物の熱容量に因る		90K/min（T=450℃>200℃） 60K/min（T=200℃>100℃）	120K/min（T=400℃>200℃） —	120K/min（T=400℃>200℃） —
チャンバー真空耐久度		0.1 Pa（10^-3hPa）
プロセスガス供給ライン		マスフローコントローラ×1（最大流量：5nlm）
コントローラ		タッチパネルコントローラSIMATIC®TP-700
プロファイルプログラム登録数		最大：50プログラム
プログラムステップ数		最大：50ステップ
チャンバー冷却方式		ウォータージャケット方式
加熱プレート冷却方式		水冷/空冷（共用可）
装置サイズ	WxDxH(mm)	550x690x830	670x544x320	430x295x290
装置重量	(kg)	約105kg	約45kg	約22kg
電源仕様		三相200V・40A	三相200V・25A	三相200V・16A
ギ酸・水素還元両対応卓上型真空はんだリフロー装置　装置オプション
上部IRヒーターモジュール	標準	○ （電源仕様：三相200V、80A）	—
上部IRヒーターモジュール	セパレート用石英ガラス板	○	—
チャンバー高さ		○（120mm）	チャンバー高さ80mm	チャンバー高さ80mm
最大到達温度		650℃		最大到達温度500℃
蓋付きグラファイト製円筒アダプタ		—	—
グラファイト製プレート	標準	—	—
	PyC浸潤	—	—
	SiCコーティング	—	—
ダブルチャンバー		—	—
石英ガラス製チャンバー	標準	—	—
石英ガラス製チャンバー	高真空対応	—	—
内蔵ギ酸還元モジュール	内蔵（標準の窒素ガスMFC共用）	○
	内蔵（標準の窒素ガスMFC別系統）	○
	外付け（標準の窒素ガスMFC別系統）	○
ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター		○
フラックストラップフィルター		—	—
高濃度水素ガス供給システム（安全対策オプション含む）		○
チャンバー蓋インターロック		（標準装備）	○
追加プロセスガス供給用マスフローコントローラ		○ （合計4系統）
追加熱電対（対象物温度測定・記録用）		○ （合計1本）	○ （合計3本）
湿度測定センサ（チャンバー内湿度測定・記録用）		○		—
酸素濃度測定センサ（チャンバー内残留酸素濃度測定・記録用）		○
3色パトライト（赤・黄・緑）		○
高真空対応チャンバー10-4Pa（10-6hPa）及びターボ分子ポンプ		○
対象物持ち上げ用リフトピン		○
外部機器通信用シリアル通信機能		○
チャンバー蓋開閉用リモート制御機能		○
真空ポンプ（真空到達圧）	低真空	○ （メンブレン式(200Pa)、耐腐食メンブレン式(200Pa)、ロータリー式(0.1Pa)、耐腐食ロータリー式(0.1Pa)、スクロール式(0.3Pa)、ドライ式(5Pa)から選択）
真空ポンプ（真空到達圧）	高真空	○ ターボ分子ポンプ（10-4Pa）
冷却機付きチラー	1.3kW	○ （5.3kW or 8.7kW）	○ （1.3kW or 2.7kW）	○ （1.3kW or 2.7kW）
ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー		○ （504x714x412mm、約50kg）

RSO-200	RSS-3X210-S	RSS-160-S	RSS-110-S

・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応
155×155×40	620×200×50	155×155×40	105×105×40
650℃	300℃	400℃
	クロス配列IRヒーター（下部加熱）	カートリッジヒーター（下部加熱）

製品名		Partica LA-960V2	Partica mini LA-350

特徴		精度保証（世界唯一）のベストセラーモデル！ 0.01μm～5000μmのワイドレンジ測定に加え豊富なアクセサリをご用意。分散媒注入からセル洗浄まで約1分！超音波プローブ搭載、最適な粒子分散を実現！	お買い求めやすいエントリーモデル！業界最小サイズで精度保証。 0.1μm～1000μm測定範囲で多様なサンプルに対応使い勝手を考えたユーザーフレンドリーなシンプルオペレーション
測定原理		Mie散乱理論	Mie散乱理論
測定範囲		0.01～5000μm	0.1～1000μm
測定時間		60秒	約10秒
測定セル	フローセル	標準：180mL～	標準：130mL～
	大容量
	バッチ式		〇（専用セル、撹拌機能）
	高濃度	〇
	高粘度	〇
	少量	〇　バッチ式：5 mL、10 mL、15 mL 　フロー式：35mL～
	画像	〇
	乾式	〇
	ビーカー
	温調	〇
	気中	〇スプレーユニット
	その他
多検体		〇　湿式用（撹拌ユニット機能）　乾式用
その他			有機溶媒対応仕様（オプション）
カタログのお申込み		カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名		マスターサイザー3000	マスターサイザー3000E	スプレーテック	インシテック(乾式)	インシテック(湿式)	インシテック(スプレー)

特徴		幅広い粒子径・サンプルに対応した、粒子径分布測定装置	粒度分布計のエントリーモデル	噴霧粒子およびスプレー液滴径測定	乾式プロセス用リアルタイム測定器	湿式プロセス用リアルタイム測定器	スプレー、エアロゾル
測定原理		Mie理論、Fraunhofer近似	Mie理論、Fraunhofer近似	MieおよびFraunhofer散乱	Mie 理論	Mie 理論	Mie 理論
測定範囲		0.01µm – 3500µm	0.1µm – 1000µm	レンズ(1)： 0.1 – 900 µm (Dv50: 0.5 – 600 µm レンズ(2)： 2 – 2000 µm (Dv50: 5 – 1600 µm).	0.1µm – 2500µm	0.1µm – 2500µm	0.1µm – 2500µm
測定時間		10秒以内	10秒以内
測定セル	フローセル	〇：120mL（超音波）	〇：120mL（超音波）	フローセル対応可能	連続モニタリング用製品	連続モニタリング用製品	連続モニタリング用製品
	大容量	〇：600mL（超音波）	〇：600mL（超音波）
	バッチ式	〇	ご相談ください	ご相談ください	連続モニタリング用製品	連続モニタリング用製品	連続モニタリング用製品
	高濃度	〇	ご相談ください	ご相談ください	－	－	－
	高粘度	〇	ご相談ください	ご相談ください	－	－	－
	少量	〇バッチ式：6-7mL フロー式：50mL～	〇バッチ式：6-7mL フロー式：50mL～
	画像	〇	－	－	－	－	－
	乾式	〇 2種類	〇 2種類		標準
	ビーカー	〇 250/600/1,000mL対応（超音波）	〇 250/600/1,000mL対応（超音波）
	温調
	気中			標準			標準
	その他					標準：湿式
多検体		〇	－	－	連続モニタリング用製品	連続モニタリング用製品	連続モニタリング用製品
その他
カタログのお申込み		カタログ請求 ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名		PSA1190	PSA1090	PSA990

特徴		湿式と乾式標準（切替えはワンクリック）光軸調整不要
測定原理
測定範囲		湿式：0.04～2500 μm 乾式：0.1～2500 μm	湿式：0.04-500μm 乾式：0.1～500 μm	湿式：0.2～500 μm 乾式：0.3～500 μm
測定時間		＜1分		＜1分
測定セル	フローセル	標準	標準	標準
	大容量
	バッチ式
	高濃度
	高粘度
	少量	〇 40mL	〇 40mL	〇 40mL
	画像
	乾式	標準	標準	標準
	ビーカー
	温調	〇（オプション）	〇（オプション）	〇（オプション）
	気中
	その他	〇（高比重サンプル）	〇（高比重サンプル）	〇（高比重サンプル）
多検体		〇最大30検体	〇最大30検体	〇最大30検体
その他		乾式での自由落下測定
カタログのお申込み		お問い合わせはこちら ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名		Bettersizer2600

特徴		圧倒的コストパフォーマンス幅広い粒子径を高感度にカバー
測定原理		レーザー回折、フーリエおよび逆フーリエ光学系ミー散乱理論、フラウンホーファー回折理論
測定範囲		湿式：:0.02～2600μm、乾式：:0.1～2600μm
測定時間		＜10秒
測定セル	フローセル	標準
	大容量
	バッチ式
	高濃度
	高粘度
	少量	〇 8mL
	画像
	乾式	標準
	ビーカー
	温調
	気中
	その他
多検体
その他
カタログのお申込み		カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、　カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名		マイクロトラック SYNCシリーズ	マイクロトラック MT3000 IIシリーズ	AEROTRAC II

特長		特許取得済みの同期測定技術により、レーザー回折・散乱法の可能性を広げました。測定を簡単に、速く、正確に、再現性よく行うことができるだけでなく、サンプルセル内の同一サンプルに対して、同時にダイナミックな画像解析を行うことができます。	様々な業界スタンダード評価装置となっている3本レーザシステムで世界最高峰の分解能を有する装置です。お客様のサンプルに応じた様々なオプションがあり、分析、メンテナンスなどのサポートも充実しております。	AEROTRAC IIは、液滴、スプレー、塗装、ミスト、粉体専用の粒度分析装置でインジェクタ、ネブライザー、点鼻薬、殺虫剤、防水スプレーまで幅広いアプリケーションに対応しています。
湿式測定	測定レンジ	0.02～2000μｍ	0.02～2800μｍ	0.5～2000μｍ
	測定時間	10秒～	10秒～	0.02ｍ秒～
	FLOW循環器	〇	〇	×
	有機溶媒対応	●	●	●
乾式測定	測定レンジ	0.2～2000μｍ	0.2～2800μｍ	0.5～2000μｍ
	測定時間	10秒～	10秒～	0.02ｍ秒～
	ワンショット	×	〇	〇
	リニアフィーダー	〇	〇	－
画像解析	湿式	〇	〇 ※１	－
画像解析	乾式	〇	×	－
エアロゾル	液滴径	×	×	〇
エアロゾル	濃厚測定	×	×	多重散乱補正機能付き
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※１ S3500 SIとの組み合わせにより
●：標準機能　〇：オプション機能　✖：非搭載

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